主要特点 欧美技术,横梁与Z轴均采用大理石结构,温度一致性较佳;中间镂空,三角横梁,降低了机器的重心并降低了运动部件的质量,减少了测量机在高速运行时的惯性及偏摆。 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨**受磨损。 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺。 各运动轴均采用直流伺服驱动,确保运动的平稳和准确。 X向采用精密三角梁**技术,相比矩形横梁,重心更低,质量刚性比较佳,运动更加可靠。 Z轴采取获得**的气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题。 技术参数 型号 564 686 8106 8126 行程大小(mm) X 500 600 800 800 Y 600 800 1000 1200 Z 400 600 600 600 测量空间(mm) Dx 634 734 934 934 Dy 144 144 144 144 Dz 594 794 794 794 外形尺寸(mm) Lx 1050 1150 1350 1350 Ly 1535 1735 1935 2135 Lz 2247 2647 2729 2729 平台mm Ph 783 783 805 805 Py 1155 1355 1555 1755 支撑mm Sy 824 978 1178 1378 Sy1 356 379 379 379 承重kg 300 300 500 500 机器重量kg 590 730 730 1196 MPEe(μm) 2.8+L/300 3.0+L/300 MPEp(μm) 3.5 4 光栅尺分辨率μm 0.5 空间移动速度mm/s 520 空间移动加速度mm/s 1530 流量/供气压力 120N1/min 0.45Mpa 温度 20±2℃ 湿度 45%-75%